- SACVD
- Полупроводники: selected area chemical vapor deposition
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
SACVD
Смотреть что такое "SACVD" в других словарях:
избирательное химическое осаждение из паровой фазы — Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором тонкопленочный материал осаждается только в выбранных местах на поверхности подложки; избирательность осаждения управляется химическим составом поверхности, который можно локально… … Справочник технического переводчика
